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2022-03
半導體工業用炭石墨制品的使用與選擇
半導體工業用炭石墨制品的使用與選擇半導體工業用炭石墨制品的使用與選擇半導體工業是新興的科學技術，近年來受到了人們極大地重視，被認為是20世紀60年代與原子能同等重要的科學新成就。而半導體技術的發展與石墨材料在半導體工業中的應用是分不開的。在半導體工業中主要采用高純石墨材料制造單晶爐石墨加熱系統、電子器件燒結模具、絕緣子燒結模具、可控硅管燒結模具等。......
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2022-03
正確使用石墨保溫筒來避免其他不良影響
正確使用石墨保溫筒來避免其他不良影響石墨電極、石墨支柱等石墨件。在單晶爐中，除了采用高純石墨制作加熱器外，還采用高純石墨制作石墨電極、石墨支柱、石墨保溫罩、石墨保溫蓋、石墨籽晶夾、石墨接渣盤、石墨托等，如圖所示。采用直拉法拉制錯單晶的原理、設備（采用單坩媧拉制時）和操作過程均與上述硅單晶的拉制基本上一樣，其不同是拉制緒單晶時可用石墨坩塌，而拉制硅單......
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2022-03
?半導體工業燒結用石墨模具材料的選擇
?半導體工業燒結用石墨模具材料的選擇燒結用石墨模具由于高純石墨具有耐高溫、純度高、高溫下尺寸穩定、耐熱沖擊性能好等特點，所以在半導體工業中廣泛采用高純石墨制作各種燒結模具。(1)電子器件燒結用石墨模具。石墨燒結模適用于各種類型的二極管、三極管、可控硅管等器件的管心燒結，圖為部分燒結模具實例。采用高頻爐區熔法拉制單晶時，還采用石墨舟(見圖2-4）。（......
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2022-03
用未燃燒的石油焦制成的石墨制品
用未燃燒的石油焦制成的石墨制品用未燃燒的石油焦制成的石墨制品，是二種機械強度很高的細粒結構材料，可用于制作電子技術制品，如排期、薄板、因盤、真空爐和高頻電爐的加熱器、巡熱被、解泰她簽屬的石墨皿、高溫實驗裝置的把持器（夾頭）、熱壓壓模和過濾器等。此種材料可用于懂性氣氛或保護性氣氛中在2500℃以下的溫度中工作；在真空(10-~10mmHgo，中于20......
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2022-03
半導體工業用石墨制品材料的處理
半導體工業用石墨制品材料的處理半導體工業用石墨制品材料的處理未使用過的石墨制品材料發熱體、保溫罩、托架和籽晶夾、石墨坩鍋等器件，因在機械加工時有石墨粉附著在石墨制品材料器件的表面或浸入石墨體氣孔中，也可能有其他雜質浸人石黑孔隙中，為了防止在使用中對半導體材料引起污染，在使用前必須進行預處理。一種預處理方法是先將石墨器件在四氯化碳中浸泡數小時，然后用......
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2022-03
單晶硅與多晶硅生成用炭石墨制品
單晶硅與多晶硅生成用炭石墨制品單晶硅的生產（CZ拉伸法）制造單晶硅棒的工藝有拉伸法（CZ）和浮游帶區域精煉法（FZ），CZ法一般使用石墨制品。利用CZ法生產時，將多晶硅塊料和添加元素（摻雜）裝入石英坩堝，再將石英坩堝置于高純石墨坩堝或C/C復合材料坩堝圖像傳感器內，并使其隨軸旋轉，在減壓條件下通入氬籽晶把持器氣的同時用石墨制的加熱器加熱至1500觀......
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2022-03
外延硅片的生成用炭素制品
外延硅片的生成用炭素制品近年來生產單晶硅也趨向大型化，開始拉伸直徑12in的單晶硅。使用的熱區范圍多在32in左右使用的炭素制品為與石英坩堝相匹配、石墨坩堝外徑約為φ860mm、加熱器約為1000m，其他部件最大的為直徑1500mm隨著大型化，作為取代石墨坯料的C/C復合材料的使用漸漸擴大，同時為了提高爐內的純度，使用SiC涂層部件的傾向也在增加。......