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石墨舟皿的應用場景
硬質(zhì)合金燒結(jié)
中心功能:作為氫氣脫膠和真空燒結(jié)工藝的專用容器,承載硬質(zhì)合金坯體(如切削刀具、礦山工具等)。
技術適配:
耐受1600-2200℃的復原性氣氛(如氫氣、真空),保證燒結(jié)過程安穩(wěn)。
通過W型雙向斜槽規(guī)劃,使硬質(zhì)合金長條薄片產(chǎn)品受熱均勻,溫差波動≤3℃,防止翹曲變形。
棱角保護槽將產(chǎn)品與銳邊接觸轉(zhuǎn)為平面接觸,邊角破損率從傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的5.2%降至0.8%。
支撐最大單件長度1200mm的硬質(zhì)合金坯體承載,適配異形件的可調(diào)理固定需求(如最小截面5mm×5mm產(chǎn)品)。
半導體制作
高溫爐管與加熱器:
在晶圓制作、集成電路制作中,石墨舟皿作為高溫爐管的中心部件,耐受2800℃慵懶環(huán)境,遠超金屬(如鉬的1600℃)和陶瓷資料。
供給均勻熱場,電阻率低且隨溫度改變小,完結(jié)精準控溫(±1℃),適用于精細陶瓷-金屬復合資料的共燒。
晶圓傳輸系統(tǒng):
在12英寸晶圓ALD(原子層堆積)設備中,滿意NAS 1638 Class 3級潔凈度標準(每立方米>0.5μm顆粒<1000個),定位精度差錯≤±0.005mm。
電池片鍍膜與燒結(jié):
在PERC電池片的銀漿燒結(jié)工序中,石墨舟皿需在5分鐘內(nèi)完結(jié)室溫→800℃→冷卻的劇烈溫變,外表溫差<±2℃(傳統(tǒng)載具±15℃),碎片率從0.5%降至0.02%,單次工藝能耗降低18%。
多晶硅太陽能電池:
作為等離子體增強化學氣相堆積工藝的載具,耐受高溫和化學腐蝕,保證硅片鍍膜均勻性。
鋰電池制作
電極資料制備:
石墨舟皿用于承載正負極資料,其優(yōu)異的導電性能(熱導率高達120W/(m·K))促進熱量均勻分布,提高資料燒結(jié)質(zhì)量。
金屬粉末熔煉:
高純石墨(灰分含量<50ppm)防止雜質(zhì)污染,適用于半導體封裝用焊料的熔煉。
化學反響設備
催化反響載體:
石墨舟皿的化學安穩(wěn)性使其成為承載反響物的理想容器,尤其在復原性氣體環(huán)境中不發(fā)生反響,延長使用壽命。
硬質(zhì)合金燒結(jié)
中心功能:作為氫氣脫膠和真空燒結(jié)工藝的專用容器,承載硬質(zhì)合金坯體(如切削刀具、礦山工具等)。
技術適配:
耐受1600-2200℃的復原性氣氛(如氫氣、真空),保證燒結(jié)過程安穩(wěn)。
通過W型雙向斜槽規(guī)劃,使硬質(zhì)合金長條薄片產(chǎn)品受熱均勻,溫差波動≤3℃,防止翹曲變形。
棱角保護槽將產(chǎn)品與銳邊接觸轉(zhuǎn)為平面接觸,邊角破損率從傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的5.2%降至0.8%。
支撐最大單件長度1200mm的硬質(zhì)合金坯體承載,適配異形件的可調(diào)理固定需求(如最小截面5mm×5mm產(chǎn)品)。
半導體制作
高溫爐管與加熱器:
在晶圓制作、集成電路制作中,石墨舟皿作為高溫爐管的中心部件,耐受2800℃慵懶環(huán)境,遠超金屬(如鉬的1600℃)和陶瓷資料。
供給均勻熱場,電阻率低且隨溫度改變小,完結(jié)精準控溫(±1℃),適用于精細陶瓷-金屬復合資料的共燒。
晶圓傳輸系統(tǒng):
在12英寸晶圓ALD(原子層堆積)設備中,滿意NAS 1638 Class 3級潔凈度標準(每立方米>0.5μm顆粒<1000個),定位精度差錯≤±0.005mm。
電池片鍍膜與燒結(jié):
在PERC電池片的銀漿燒結(jié)工序中,石墨舟皿需在5分鐘內(nèi)完結(jié)室溫→800℃→冷卻的劇烈溫變,外表溫差<±2℃(傳統(tǒng)載具±15℃),碎片率從0.5%降至0.02%,單次工藝能耗降低18%。
多晶硅太陽能電池:
作為等離子體增強化學氣相堆積工藝的載具,耐受高溫和化學腐蝕,保證硅片鍍膜均勻性。
鋰電池制作
電極資料制備:
石墨舟皿用于承載正負極資料,其優(yōu)異的導電性能(熱導率高達120W/(m·K))促進熱量均勻分布,提高資料燒結(jié)質(zhì)量。
金屬粉末熔煉:
高純石墨(灰分含量<50ppm)防止雜質(zhì)污染,適用于半導體封裝用焊料的熔煉。
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催化反響載體:
石墨舟皿的化學安穩(wěn)性使其成為承載反響物的理想容器,尤其在復原性氣體環(huán)境中不發(fā)生反響,延長使用壽命。

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