石墨制品半導體工業燒結用石墨模具材料的選擇

石墨制品半導體工業燒結用石墨模具資料的挑選
    燒結用石墨模具由于高純石墨具有耐高溫、純度高、高溫下規范安穩、耐熱沖擊功用好等特征，所以在半導體工業中廣泛選用高純石墨制作各種燒結模具。
   (1)電子器材燒結用石墨模具。石墨燒結模適用于各種類型的二極管、三極管、可控硅管等器材的管心燒結，圖為部分燒結模具實例。選用高頻爐區熔法拉制單晶時，還選用石墨舟(見圖2-4）。
  （2）各種絕緣子燒結模具。石墨模適用于各種類型的三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結，電容器絕緣子燒結，厚膜及薄膜集成電路絕緣子燒結，超小型繼電器、接插件等元件絕緣子燒結模具等。
石墨制品半導體工業用石墨模具資料的挑選
    石墨制品半導體工業對所用石墨資料要求其純度越高越好，特別是直接與半導體資料接觸的石墨器材
    如坩塌、燒結用石墨模具等，雜質含量多會污染半導體資料，因此不光對所用石墨原資料的純度要嚴加控制，而且還要經高溫石墨化處理，使其灰分降到最低程度。
    半導體工業要求所用石墨資料顆粒度要細，顆粒度細的石墨不光簡略抵達加工精度而且高溫強度高、損耗小，特別是燒結用石墨模具要求加工精度很高。由于半導體工業所用的石墨器材(包含加熱器和燒結模）都需求承受重復加熱和冷卻進程，為了行進石墨器材的運用壽數，要求所用石墨資料在高溫下具有杰出的規范安穩性和耐熱沖擊功用。為了滿意上述各項要求，目前我國出產了一系列適用于半導體工業所運用的石墨資料。