石墨舟裝片房和石墨舟裝載房是做什么用的?
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發布時間:2020-01-23 16:25:57
石墨舟裝片房和石墨舟裝載房是做什么用的?
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石墨舟裝片房:用于太陽能行業與PECVD承載車配套、裝取硅片、配制中效及高效過濾器,確保吹出的空氣達到凈化要求。
石墨舟工作原理:
空氣通過高效過濾后,阻尼層均壓,使潔凈的空氣氣流垂直單向送入裝片工作區,從而保證了工作區內達到工藝要求的潔凈度,操作人員在潔凈的環境中往石墨舟上裝硅片。
石墨舟主要特點:
1、能準確的使石墨舟承載裝片車定位;
2、采用不銹鋼制造,整機結構堅固可靠;
3、采用GK系列高效空氣過濾器3只;
4、PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉180度;
5、凈化風機噪音小于50dB。
6、保證了工作區內達到工藝要求的潔凈度100級。
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